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Electrical properties of ALD-HfO2 using H2O and D2O as an oxidant

제목
Electrical properties of ALD-HfO2 using H2O and D2O as an oxidant
저자
안진호
발행일
2005-02-24
학회명
제12회 한국반도체학술대회
개최지
코엑스

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