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RuO2 환원층을 이용한 ALD Ru 박막 증착

  • 전형탁
제목
RuO2 환원층을 이용한 ALD Ru 박막 증착
저자
전형탁
발행일
2011-10-13
학회명
한국반도체디스플레이기술학회 2011년 추계 심포지움
개최지
킨텍스 회의실 207호

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