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MOCVD 기법으로 성장한 GaN 에피층의 전자빔 조사를 통한 결함형성 및 분석

  • 김은규
제목
MOCVD 기법으로 성장한 GaN 에피층의 전자빔 조사를 통한 결함형성 및 분석
저자
김은규
발행일
2007-08-16
학회명
제33회 한국진공학회 하계학술대회
개최지
라마다 프라자 제주 호텔

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