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Design of Crystalline InGaO Channels with High-Temperature Stability via Thermal ALD Process Parameter Variations
- 제목
- Design of Crystalline InGaO Channels with High-Temperature Stability via Thermal ALD Process Parameter Variations
- 저자
- 박진성
- 발행일
- 2025-06-24
- 학회명
- ALD/ALE 2025
- 개최지
- ICC JEJU