ScholarWorks@한양대학교

상세 보기

"Al 조성 변화에 따라 원자층 증착법으로 성장된 Hf-Al mixed oxide 박막의 특성"

  • 전형탁
제목
"Al 조성 변화에 따라 원자층 증착법으로 성장된 Hf-Al mixed oxide 박막의 특성"
저자
전형탁
발행일
2005-11-10
학회명
2005년도 한국재료학회 추계학술대회 및 제9회 신소재 심포지엄
개최지
한양대학교 한양종합 기술연구동(HIT)

ScholarWorks@한양대학교

(04763) 서울특별시 성동구 왕십리로 222 Tel. +82-2-2220-1370 +82-2-2220-1366

COPYRIGHT © 한양대학교 All Rights Reserved.

Certain data included herein are derived from the © Web of Science of Clarivate Analytics. All rights reserved.

You may not copy or re-distribute this material in whole or in part without the prior written consent of Clarivate Analytics.