ScholarWorks@한양대학교

상세 보기

Off-axis Si(100) 기판에서의 화학적 산화막을 이용한 Co-sillicide 성장에 관한 연구

  • 전형탁
제목
Off-axis Si(100) 기판에서의 화학적 산화막을 이용한 Co-sillicide 성장에 관한 연구
저자
전형탁
발행일
2000-01-26
학회명
제7회 한국 반도체 학술대회
개최지
고려대학교

ScholarWorks@한양대학교

(04763) 서울특별시 성동구 왕십리로 222 Tel. +82-2-2220-1370 +82-2-2220-1366

COPYRIGHT © 한양대학교 All Rights Reserved.

Certain data included herein are derived from the © Web of Science of Clarivate Analytics. All rights reserved.

You may not copy or re-distribute this material in whole or in part without the prior written consent of Clarivate Analytics.