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Tungsten 및 molybdenum 게이트를 사용한 3D VNAND flash memory의 mechanical stress 분포 확인

제목
Tungsten 및 molybdenum 게이트를 사용한 3D VNAND flash memory의 mechanical stress 분포 확인
저자
송윤흡
발행일
2021-06-30
학회명
2021년 대한전자공학회 하계종합학술대회

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