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Pt/Ti/SiNx층의 미세구조변화에 미치는 어닐링분위기의 영향

  • 김영호
제목
Pt/Ti/SiNx층의 미세구조변화에 미치는 어닐링분위기의 영향
저자
김영호
발행일
1996-05-01
학회명
한국재료학회지 춘계학술발표회

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