Epitaxial growth 를 통한 Poly-Si 기판에서의 선택적 증착 특성 연구

제목
Epitaxial growth 를 통한 Poly-Si 기판에서의 선택적 증착 특성 연구
저자
안진호
발행일
2024-01-24
학회명
The 31th Korean Conference on Semiconductors
개최지
경주화백컨벤션센터