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두께가 다른 2개의 게이트 절연막을 포함한 FinFET 구조를 가진 멀티비트 낸드 플래시 메모리

  • 김태환
제목
두께가 다른 2개의 게이트 절연막을 포함한 FinFET 구조를 가진 멀티비트 낸드 플래시 메모리
저자
김태환
발행일
2009-08-19
학회명
2009년 한국 진공학회 하계 정기학술대회
개최지
디오션리조트, 여수, Korea

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