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RF-magnetron sputtering 방법으로 증착한 IGZO 박막의 열처리 온도에 따른 구조적, 광학적 및 전기적 특성

  • 김태환
제목
RF-magnetron sputtering 방법으로 증착한 IGZO 박막의 열처리 온도에 따른 구조적, 광학적 및 전기적 특성
저자
김태환
발행일
2012-10-25
학회명
2012년 가을학술논문발표회 및 임시총회
개최지
보광휘닉스파크(평창)

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