Oxygen partial pressure effects on structural and electrical behavior of pulsed laser deposited Ga2O3 thin films

  • 김은규
제목
Oxygen partial pressure effects on structural and electrical behavior of pulsed laser deposited Ga2O3 thin films
저자
김은규
발행일
2018-08-08
학회명
제55회 한국진공학회 하계정기학술대회
개최지
홍천 대명비발디파크