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다층구조 Silicon Carbide 나노입자를 사용한 나노부유게이트 캐패시터의 형성방법과 전기적 특성 연구

  • 김은규
제목
다층구조 Silicon Carbide 나노입자를 사용한 나노부유게이트 캐패시터의 형성방법과 전기적 특성 연구
저자
김은규
발행일
2007-08-16
학회명
제33회 한국진공학회 하계학술대회
개최지
라마다 프라자 제주 호텔

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