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Enhancement of Polishing-Rate of Silicon-Germanium using oxidant and amine functional group based accelerator
- 제목
- Enhancement of Polishing-Rate of Silicon-Germanium using oxidant and amine functional group based accelerator
- 저자
- 박진섭
- 발행일
- 2025-12-25
- 학회명
- 2025년 한국물리학회
- 개최지
- 대전