상세 보기
Reverse Selectivity Performance of Nano sized Ceria slurry for Damascene Gate CMP Process
- 제목
- Reverse Selectivity Performance of Nano sized Ceria slurry for Damascene Gate CMP Process
- 저자
- 백운규
- 발행일
- 2006-05-10
- 학회명
- The 209th Meeting of The Electrochemical Society
- 개최지
- 캐나다 덴버