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RF-sputter를 이용하여 그래핀 및 사파이어 기판위에 성장된 GaN 박막의 특성 연구

  • 김은규
제목
RF-sputter를 이용하여 그래핀 및 사파이어 기판위에 성장된 GaN 박막의 특성 연구
저자
김은규
발행일
2013-08-22
학회명
제45회 한국진공학회 하계학술대회
개최지
여수디오션리조트

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