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Experimental demonstration for the influence of EUV pellicle wrinkles on the mask 3D effects
- 제목
- Experimental demonstration for the influence of EUV pellicle wrinkles on the mask 3D effects
- 저자
- 안진호
- 발행일
- 2022-09-28
- 학회명
- 2022 SPIE Photomask Technology + EUV Lithography
- 개최지
- 미국