하이브리드 인공신경망을 이용한 웨이퍼 온도 분포 예측 기법 및 센서 수 최적화에 관한 연구

제목
하이브리드 인공신경망을 이용한 웨이퍼 온도 분포 예측 기법 및 센서 수 최적화에 관한 연구
저자
소홍윤
발행일
2025-06-18
학회명
2025년도 한국통신학회 하계종합학술발표회
개최지
제주 신화월드