The study on H2 plasma treatment effect in IGZO thin film transistor

  • 전형탁
제목
The study on H2 plasma treatment effect in IGZO thin film transistor
저자
전형탁
발행일
2011-10-27
학회명
2011 한국재료학회 추계학술발표대회 및 제 21회 신소재 심포지엄
개최지
신라대학교