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Pad Roughness Effects by Diamond Conditioner on the Step Height Reduction in CMP
- 제목
- Pad Roughness Effects by Diamond Conditioner on the Step Height Reduction in CMP
- 저자
- 백운규
- 발행일
- 2012-04-11
- 학회명
- 2012년 Materials Research Meeting
- 개최지
- Sanfrancisco, USA