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Metal-Insulator-Metal Capacitors Using Atomic Layer Deposited Al2O3 and HfO2 Dielectrics
- 제목
- Metal-Insulator-Metal Capacitors Using Atomic Layer Deposited Al2O3 and HfO2 Dielectrics
- 저자
- 안진호
- 발행일
- 2008-10-18
- 학회명
- PRIME Meeting on Electrochemical and Solid-State Science
- 개최지
- USA