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Fin의 두께와 높이 변화에 따른 22nm FinFET flash memory 에서의 전기적 특성

  • 김태환
제목
Fin의 두께와 높이 변화에 따른 22nm FinFET flash memory 에서의 전기적 특성
저자
김태환
발행일
2012-08-22
학회명
제43회 한국진공학회 하계정기학술대회
개최지
라마다 프라자 제주호텔

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