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양성자 주입된 실리콘 반도체소자내의 깊은준위 결함분석

  • 김은규
제목
양성자 주입된 실리콘 반도체소자내의 깊은준위 결함분석
저자
김은규
발행일
2004-08-20
학회명
제27회 한국진공학회 학술발표회
개최지
대구 컨벤션뷰로

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