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수소 환경 열처리를 통한 Ru/W 계면의 산화층 제거와 계면저항 개선

제목
수소 환경 열처리를 통한 Ru/W 계면의 산화층 제거와 계면저항 개선
저자
안진호
발행일
2025-02-14
학회명
The 32th Korean Conference on Semiconductors
개최지
강원도 하이원리조트

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