정전기력을 고려한 MEMS 가속도계 진동해석

Vibration Analysis of MEMS Accelerometer Undertaking Electrostatic Force
  • 김형영
  • 유홍희
제목
정전기력을 고려한 MEMS 가속도계 진동해석
제목 (타언어)
Vibration Analysis of MEMS Accelerometer Undertaking Electrostatic Force
저자
김형영유홍희
발행일
2012-04
유형
Proceeding
저널명
한국소음진동공학회 2012년도 춘계학술대회 논문집
페이지
755 ~ 756