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GaAs 기판위에 AlAsxSb1-x meta-morphic 완충층을 사용하여 성장한 InAs 박막의 구조적 및 전기적 성질

  • 김태환
제목
GaAs 기판위에 AlAsxSb1-x meta-morphic 완충층을 사용하여 성장한 InAs 박막의 구조적 및 전기적 성질
저자
김태환
발행일
2009-02-11
학회명
2009년 한국 진공학회 동계 정기학술대회
개최지
현대성우리조트, 횡성, Korea

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