강유전체 하부전극용 RuO2 박막의 접착력평가

  • 김영호
제목
강유전체 하부전극용 RuO2 박막의 접착력평가
저자
김영호
발행일
1998-05-01
학회명
98 한국재료학회춘계학술발표회 초록집