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시분할 화학증착 장치를 이용한 TiN박막의성장과 특성

  • 전형탁
제목
시분할 화학증착 장치를 이용한 TiN박막의성장과 특성
저자
전형탁
발행일
1998-11-01
학회명
한국재료학회 추계 학술대회

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