ScholarWorks@한양대학교

상세 보기

스퍼터링 및 후 열처리 기법에 의한 V3Si나노입자 형성과 비휘발성 메모리소자 응용

  • 김은규
제목
스퍼터링 및 후 열처리 기법에 의한 V3Si나노입자 형성과 비휘발성 메모리소자 응용
저자
김은규
발행일
2011-11-17
학회명
제41회 한국진공학회 하계학술대회
개최지
대구컨벤션뷰로

ScholarWorks@한양대학교

(04763) 서울특별시 성동구 왕십리로 222 Tel. +82-2-2220-1370 +82-2-2220-1366

COPYRIGHT © 한양대학교 All Rights Reserved.

Certain data included herein are derived from the © Web of Science of Clarivate Analytics. All rights reserved.

You may not copy or re-distribute this material in whole or in part without the prior written consent of Clarivate Analytics.