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Laser Spallation Test를 활용한 LPCVD 및 PECVD로 증착된 Silicon Nitride와 Copper 박막간 계면 접착 강도 평가

제목
Laser Spallation Test를 활용한 LPCVD 및 PECVD로 증착된 Silicon Nitride와 Copper 박막간 계면 접착 강도 평가
저자
이승환
발행일
2025-05-14
학회명
2025 한국정밀공학회 춘계학술대회
개최지
제주 신화월드

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