상세 보기
Selective Cu Oxide-Inhibitor Interaction for Enhanced Galvanic Corrosion Resistance in Cu/Ru Systems during CMP
- 제목
- Selective Cu Oxide-Inhibitor Interaction for Enhanced Galvanic Corrosion Resistance in Cu/Ru Systems during CMP
- 저자
- 송태섭
- 발행일
- 2024-10-18
- 학회명
- 2024년 한국세라믹학회 추계학술대회
- 개최지
- 코엑스