RF magnetron sputtering 방법을 이용한 ZnO 박막의 열처리에 따른 물리적 특성 분석 및 Co doping한 ZnO 박막의 자기적 특성 연구

  • 김태환
제목
RF magnetron sputtering 방법을 이용한 ZnO 박막의 열처리에 따른 물리적 특성 분석 및 Co doping한 ZnO 박막의 자기적 특성 연구
저자
김태환
발행일
2003-10-24
학회명
2003년도 한국물리학회 가을 학술논문발표회
개최지
경북대학교