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스퍼터링법으로 증착한 실리콘 태양전지 전극용 Indium Tin Oxide 박막의 전기적 및 광학적 물성

  • 김은규
제목
스퍼터링법으로 증착한 실리콘 태양전지 전극용 Indium Tin Oxide 박막의 전기적 및 광학적 물성
저자
김은규
발행일
2013-08-21
학회명
제45회 한국진공학회 하계학술대회
개최지
여수디오션리조트

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