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The Effect of Polyacrylamide on Removal Poly Si to SiO2 Selectivity in Poly Si CMP Process for NAND Flash Memory beyond 60nm
- 제목
- The Effect of Polyacrylamide on Removal Poly Si to SiO2 Selectivity in Poly Si CMP Process for NAND Flash Memory beyond 60nm
- 저자
- 백운규
- 발행일
- 2008-04-26
- 학회명
- 2008년 한국세라믹학회 춘계총회 및 연구발표회
- 개최지
- 서울대학교 공과대학