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Thermal Budget이 향상된 열처리 시스템을 이용한 IGZO 박막의 열처리 특성 비교

제목
Thermal Budget이 향상된 열처리 시스템을 이용한 IGZO 박막의 열처리 특성 비교
저자
안진호
발행일
2017-02-14
학회명
The 24th Korean Conference on Semiconductors
개최지
강원도 대명비발디파크 메이플동 2층/3층

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