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The effect of agglomerated particle size on CMP for Shallow Trench Isolation
- 제목
- The effect of agglomerated particle size on CMP for Shallow Trench Isolation
- 저자
- 백운규
- 발행일
- 2002-08-14
- 학회명
- 2002 International nano ceramics / crystals forum and international symposium on intermaterials
- 개최지
- 한양대학교