급속열처리과정을 이용한 TiSi2 나노부유게이트 캐패시터의 제작 및 전기적 특성연구

  • 김은규
제목
급속열처리과정을 이용한 TiSi2 나노부유게이트 캐패시터의 제작 및 전기적 특성연구
저자
김은규
발행일
2008-10-24
학회명
2008년 한국물리학회 가을 학술논문발표회
개최지
광주 김대중컨벤션센터