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Effect of Organic Additives in Ceria Slurry on Enhanced Oxide-to-Nitride Removal Selectivity in STI CMP
- 제목
- Effect of Organic Additives in Ceria Slurry on Enhanced Oxide-to-Nitride Removal Selectivity in STI CMP
- 저자
- 백운규
- 발행일
- 2006-11-03
- 학회명
- 2006년 추계 한국재료학회
- 개최지
- 수원대학교