평행 기류에서 열영동 효과를 고려한 평판으로의 입자 침착에 관한 연구

제목
평행 기류에서 열영동 효과를 고려한 평판으로의 입자 침착에 관한 연구
저자
육세진
발행일
2011-10-05
학회명
2011년도 클린룸 기술 심포지움
개최지
COEX, 서울