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Investigation of adhesion at LPCVD and PECVD silicon nitride/copper film interface by laser spallation technique
- 제목
- Investigation of adhesion at LPCVD and PECVD silicon nitride/copper film interface by laser spallation technique
- 저자
- 이승환
- 발행일
- 2024-06-27
- 학회명
- 대한기계학회 재료 및 파괴부문 2024년 춘계학술대회
- 개최지
- 제주 서귀포 KAL호텔