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MOCVD법으로 성장한 GaN 에피층의 전자빔조사에 따른 깊은준위 결함상태 분석

  • 김은규
제목
MOCVD법으로 성장한 GaN 에피층의 전자빔조사에 따른 깊은준위 결함상태 분석
저자
김은규
발행일
2008-10-24
학회명
2008년 한국물리학회 가을 학술논문발표회
개최지
광주 김대중컨벤션센터

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