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SiO2/Si3N4/SiO2 터널 절연막을 이용한 WSi2 나노부유게이트 메모리소자의 전기적 특성연구

  • 김은규
제목
SiO2/Si3N4/SiO2 터널 절연막을 이용한 WSi2 나노부유게이트 메모리소자의 전기적 특성연구
저자
김은규
발행일
2009-04-23
학회명
2009년 한국물리학회 봄 학술논문발표회
개최지
대전컨벤션센터

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