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Atomic Layer Chemical Vapor Deposition of TiN Thin Film on Si(100) and Si(111)

  • 전형탁
제목
Atomic Layer Chemical Vapor Deposition of TiN Thin Film on Si(100) and Si(111)
저자
전형탁
발행일
2001-01-26
학회명
제 7 회 한국반도체 학술대회
개최지
고려대학교

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