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초록
The Effect of Different Isoelectric Point of Ceria Suspension on Chemical Mechanical Poliching for Shallow Trench Isolation
- 제목
- The Effect of Different Isoelectric Point of Ceria Suspension on Chemical Mechanical Poliching for Shallow Trench Isolation
- 저자
- 박재근
- 발행일
- 2002-02-21
- 학회명
- 제9회 한국반도체 학술대회
- 개최지
- 천안상록리조트 컨벤션센터(KOREA)