소자 내 잔류응력이 메모리 셀 특성에 미치는 영향성 연구

제목
소자 내 잔류응력이 메모리 셀 특성에 미치는 영향성 연구
저자
송윤흡
발행일
2019-11-19
학회명
한국반도체디스플레이기술학회 추계학술대회
개최지
한양대학교