La(NO3)3·6H2O 용액을 산화제로 이용한 HfO2 박막의 미세 구조

제목
La(NO3)3·6H2O 용액을 산화제로 이용한 HfO2 박막의 미세 구조
저자
안진호
발행일
2019-02-14
학회명
The 26th Korean Conference on Semiconductors
개최지
강원도 웰리힐리파크