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가스 혼합비에 따른 플라즈마 내의 아르곤 준안정준위 원자밀도의 거동

제목
가스 혼합비에 따른 플라즈마 내의 아르곤 준안정준위 원자밀도의 거동
저자
오차환
발행일
2022-02-16
학회명
제62회 한국진공학회 동계정기학술대회
개최지
강원도 횡성, 웰리힐리파크

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