PVD 공정을 이용한 Si 양자점 형성 전산모사

제목
PVD 공정을 이용한 Si 양자점 형성 전산모사
저자
정용재
발행일
2002-04-20
학회명
2002 한국세라믹학회 춘계총회 및 연구발표회
개최지
서울 시립대학교