Effect of Hydrogen Induced Gettering on Sensing Margin Enhancement for Cu and Ni Contaminated Si CMOS Image-sensor

  • 박재근
제목
Effect of Hydrogen Induced Gettering on Sensing Margin Enhancement for Cu and Ni Contaminated Si CMOS Image-sensor
저자
박재근
발행일
2014-02-26
학회명
제 21회 한국반도체학술대회
개최지
한양대학교