Characteristics of β-Ga2O3 TFTs with nitrogen atom doping by plasma assisted pulsed laser deposition

  • 김은규
제목
Characteristics of β-Ga2O3 TFTs with nitrogen atom doping by plasma assisted pulsed laser deposition
저자
김은규
발행일
2020-02-12
학회명
제 27회 한국반도체학술대회
개최지
정선 하이원리조트